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工控人家園 綜合討論 超高真空環境內用什么發熱元件加熱到800度左右，用什么材料精準測溫

張平全

為國出力的時候到了

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樓主發表于: 2020-07-12 05:42

只看樓主 | 小中大

我們做的是晶體生長行業超高真空設備，需要在超高真空4.0E-11Torr環境內把指甲大小，厚度約0.2mm產品加溫到800度左右，普通的發熱管，發熱片是不行的，如果有接觸到這類國外設備的朋友們，請提供參考
由于眾所都知的原因，我們公司已承接到國家級的一個小技術項目開發，在國外這是幾十年前就有的技術，但國內還處于空白狀態，我們需要從零開始奮起直追，希望得到以下技術參考，謝謝

由于在回復大家的信息過程中，出現了多次360退出及信息被轉移的情況，有些信息我不再回復祥細技術內容，請理解

[ 此帖被張平全在2020-07-15 23:40重新編輯 ]

kongxin268

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1樓發表于: 2020-07-12 06:18

只看該作者 | 小中大

激光，電磁，超聲波。不知可用嗎？

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zhuo610616

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2樓發表于: 2020-07-12 08:06

只看該作者 | 小中大

頂起，雖然我不知道用什么材料，不過還是要頂一下

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張平全

為國出力的時候到了

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3樓發表于: 2020-07-12 10:23

只看該作者 | 小中大

因為要整體加熱一只產品，激光加熱的論證我們沒有通過
目前使用的是鎢絲加熱，但一旦升到450度左右，便有不良物質析出，找了國際上正常供貨的能找到的不低于五六家，國內也有五六家，最高5個9的純鎢絲，也在氣體分析儀上能讀出有足以影響到實驗成敗的雜質，因此只能多管齊下，探索多條路子
希望得到大家的提示幫助，集思廣益，

書香伴侶

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4樓發表于: 2020-07-12 11:29

只看該作者 | 小中大

固態加熱器或者石墨加熱器？測溫就用溫控探頭就好啦

樓主留言：

目前，夾具是石墨做的，鎧裝熱電偶放在夾具外面，測不準，同在大氣壓環境對比，估計差幾十度，
產品為。。。。，普通熱電偶等接觸式測量是行不通的，因為到達軟化點后，會破壞產品，是不可以接受的，目前用紅外線輔助測溫，但離理想精度太遠了

haiyouyang

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5樓發表于: 2020-07-12 12:24

只看該作者 | 小中大

連這都不知道，還做啥子真空設備！！！！！

樓主留言：

我們也有請，。。。。注廠，但還是沒有完全解決

yerong

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6樓發表于: 2020-07-12 13:05

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激光電子束渦流超聲波高頻感應微波

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tkggtdkjpl

工欲善其事，必先利其器！

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7樓發表于: 2020-07-12 19:20

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補充7樓等離子加熱

樓主留言：

真誠感謝！
電子束，射頻等我們都有試驗體，這兩種方案對產品傷害很大，在顯微鏡下能看到，微觀上對光潔的產品表面造成不可再用的后果，當然溫度也就400多度，我們的目標是產品表面加熱而不是產品整體加熱，所有目前使用的是熱輻射加溫，對流不可以用的，腔體已經達到外太空一樣的潔凈度環境，已試驗偶然能成功，但無法確保穩定重復，一直無法突破，從目前文獻上來看，。。。。。，再加上已知僅氬氣,氦氣對產品無聲無害,

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自動化單機，生產線，項目編程調試！

張平全

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8樓發表于: 2020-07-12 20:57

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按目前的情況來看，加溫：有生產5個9以上高純度的鎢絲供應商是個不錯的消息，但一定有比這更優的加溫方案
測溫：能優于穿透藍寶石鍍膜石英玻璃窗口的紅外線測溫方法是最優先選擇之一

honggun

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9樓發表于: 2020-07-12 23:17

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加熱的空間多大？一次加熱一片還是一次加熱很多片？

樓主留言：

加熱是個半圓柱體，腔體內空間直徑500毫米，高度約400毫米，搭建的是六個工位，但都沒有成功的痕象，包括使用機器視覺測量晶體狀態的技術手法都使用了，我們參與后，在原有模式下，我們僅使用一個工位，做出了OK品，但重復比例不高，很多是著急，就是無不精確加熱控溫，團隊目前受困于加熱材料和測溫手法，期待你更多的支特

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wei0212007

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10樓發表于: 2020-07-13 08:08

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張平全

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11樓發表于: 2020-07-14 04:57

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這個技術在涉及到直徑2厘米。。。。。。。。。砷化鎵外延片和玻璃的鍵合行業有國外進口的配套工藝在國內生產中使用，如果有參考消息，也可以私信我，謝謝
另外，告之大家，電子束的加熱方法不可用，我們有64到128束的電子束加溫設備，一整套這樣的加熱器連成真空腔體等近千萬，事實證明，不是有錢就可以堆出來的，理論很簡單，實現不容易

[ 此帖被張平全在2020-07-20 23:02重新編輯 ]

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